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產(chǎn)品分類
Product CategoryLODAS™ – CI8是列真株式會社推出的一款化合物半導(dǎo)體SiC、GaN晶圓檢查裝置。
LODAS™ – LI系列是列真株式會社推出的一款FPD Photomask缺陷檢查裝置。
LODAS™ – BI12是列真株式會社推出的一款GlassWafe缺陷檢查裝置。
LODAS™ – BI8是列真株式會社推出的一款Photomask Blanks缺陷檢查裝置。
LODAS™ – AI50/100是列真株式會社推出的一款Photomask Blanks缺陷檢查裝置。